中国智能传感器产业发展之路—浙江篇
感知芯视界编辑部近期推出“各地传感器产业发展情况系列专题”。下面来看专题中的第五篇——浙江智能传感器产业发展情况与规划（上篇）。
浙江省作为中国传感器产业发展重点区域，全国首个传感器产业化基地和中国境内第一家上市的集成电路厂商士兰微总部在杭州，中芯集成电路制造和全球领先的集成电路制造和技术服务提供商长电科技落户绍兴，市值超千亿元上市公司正泰集团落户温州等，浙江省传感器产业发展可谓多地开花，尤其传感器设计和制造端拥有超强实力。
感知芯视界编辑部将分多篇从浙江省杭州市、绍兴市、温州市、宁波市、嘉兴市等多地分别展开传感器产业的现状和未来规划，下面来看上篇内容：
智能传感器作为人工智能核心的基础技术和产业链关键环节，是提升产业链控制力的重要抓手，一直是杭州重点招引和培育的产业。
在2019年6月印发的杭州市《全市“一盘棋”产业链精准招商工作制度（试行）》的指导下，杭州市智能传感器产业链发展规划有着清晰的思路，针对上中下游产业的不同特征和需求，构建较完善的智能传感器产业体系，推进智能传感器产业集聚发展，增强企业协同发展能力，提升在重点领域的应用水平。
我国集成电路领域著名专家、中国工程院院士吴汉明正式接受聘任，担任浙江大学微纳电子学院院长。对于浙大微纳电子学院的未来规划，吴汉明院士表示，学院是在微纳电子学院基础上升级建设而成的，将依托产业发展基础建设重量级的创新平台，融合前端人才培养和后端产业化实验，让实验室与产业在同一个园区真正无缝对接起来。
2020年11月19日下午，浙江省智能传感材料与芯片集成技术重点实验室在北京航空航天大学杭州创新研究院挂牌。研究方向包括智能传感材料与微型元器件、智能传感芯片设计与制造、智能传感系统与传感网络、非硅基微纳集成技术与装备。
杭州千石科技有限公司是国家高新技术企业，成立于2011年8月，坐落于杭州市江干区钱塘智慧城-浙江省国家大学科技园，是专业从事研发、生产和销售塑性功能复合材料的企业，主要产品包括注塑永磁颗粒料、复合软磁颗粒料、吸波材料、导热塑料颗粒料等。同时也提供磁性材料应用的整体解决方案。
公司成立于1997年9月份，总部位于浙江杭州。2003年3月，士兰微在上交所挂牌交易，成为中国境内第一家上市的集成电路厂商。士兰微创始人团队背景和其他半导体公司有别，主要是来自华东地区高校而非国内工科第一高校清华大学。和其他轻资产的fabless IC设计厂商不一样，IDM模式的士兰微业务覆盖了芯片从设计、晶圆代工和封装测试的所有环节，因此公司的运营模式也异乎寻常的“重”。
浙江水晶光电科技股份有限公司创建于2002年8月2日，2008年9月19日在深圳交易所挂牌上市（股票代码002273）。公司主导产品光学低通滤波器（OLPF）、红外截止滤光片及组立件（IRCF）和窄带滤光片（NBPF）产销量居全球前列。3D深度成像、光学元器件、增强显示（AR）组件、半导体封装光学元器件、微纳结构加工光学元器件等产品均已应用于全球知名消费电子、汽车电子、安防监控、工业应用企业的产品与服务中。
大立科技是专业从事非制冷红外焦平面探测器、红外热成像系统、智能巡检机器人、惯性导航光电产品研制的高新技术企业。是国内少数技术自主可控、完全知识产权、独立研发；从生产热成像核心器件、机芯组件到整机系统制造，并具有完整产业链的专业制造商之一。
深圳麦乐克传感技术有限公司（简称“麦乐克”）是一家专业从事传感器及传感技术研发、生产、销售并为企业客户提供技术支持等全套产品解决方案的高新技术企业。麦乐克在杭州设立研发中心，公司拥有130多项核心专利技术，独立设计开发了多款智能应用产品，产品广泛应用于航天航空、智能家居、消费电子、智慧医疗、环保、消防安防、矿业、电力电子、车联网等多个领域。
2018年1月，浙江省首个以智能传感命名的小镇——青山湖微纳智造小镇在杭州临安正式开园。小镇将围绕智能传感器产业上下游打造成为集聚高端人才、国家专项和骨干企业具有全球影响力科技创新高地。微纳智造小镇位于青山湖科技城核心区域，由青山湖科技城、中电海康集团、上海微技术工业研究院、浙江省物联网产业协会等共同打造，小镇总规划面积3.17平方公里。
是杭州钱江经济开发区重点打造的传感产业园，2013年正式启动建设，园区设置了培育孵化区、产业集聚区和生活配套区三个区块，总规划面积6831亩。
据介绍，2013年钱江经济开发区已正式启动“杭州国际传感产业园”暨“钱江传感谷”建设，以麦乐克电子、中瑞思创等为领军企业，定位于搭建一个集技术研发、技术应用、产业化生产、产品展示、技术交易、公共平台支撑和产学研合作一体化的国际化传感器产业化基地。
2019年，绍兴市印发《绍兴市数字经济五年倍增计划》，在重点任务第二条“推进特色优势产业赋能升级”提到发展智能传感器，要重点围绕工业控制、汽车电子、通讯设备、环保装备等基础好、需求多的行业领域，以MEMS技术为支撑，培育引进物联网配套、具有信息处理功能的智能传感器企业，逐步推动智能传感器产业向人工智能硬件制造升级。
经过多年的积累，绍兴市已经初步形成了比较完善的产业链条，从研发和材料端、设计端、制造端、封测端均有龙头企业引领，形成了较好的智能传感器产业的发展基础。以下代表性企业及园区、院所不完全盘点：
2018年12月底，浙江大学与越城区政府正式签订合作协议，双方共建浙江大学绍兴微电子研究中心（以下简称“研究中心”）。研究中心落户于越城区集成电路小镇内。该项目总投资1.3亿元，属于高校与地方政府合作的共建项目，是越城区有史以来最大的校地合作项目，将打造具有国内先进水平的研究平台，共享高层次人才，打造技术开发平台、产业公共服务平台及人才培养平台，建设我国高端芯片技术研究与产业化的“示范区”。
杭州电子科技大学和绍兴市政府在绍兴市行政中心举行项目签约仪式，双方将联手共建杭州电子科技大学集成电路科学与工程学院（杭电绍兴校区）。
上市企业浙江晶盛机电股份有限公司是国内领先的半导体硅片设备制造商，也是国家科技重大专项8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制的唯一承担方，是硅片设备领域的绝对龙头。该公司目前正与全球第三大、区熔硅片供应商中环股份合作共同投资集成电路用大硅片生产与制造项目，加大推动半导体关键装备国产化力度。
2020年10月15日，位于绍兴的浙江最成半导体科技有限公司中日韩高端半导体材料产业园一期及二期项目举行奠基仪式。产业园一期占地面积约28亩，总投资额约3亿元；一期项目完成投产后，将实现半导体高端靶材材料的国产化，填补国内相关产业的“空白”。产业园二期占地面积约150亩，计划投资7至10亿元，将打造一个中日韩高端装备和材料的产业园区，引进中日产业上下游以及产学研究机构，并将与国内清华大学、日本东京大学、韩国汉阳大学等高校展开产学研的合作。
2020年2月，绍兴滨海新区双成半导体设计产业平台项目在市行政中心正式签约。作为滨海新区2020年首个重大签约项目，不见面招商收获的首个成果，总投资30亿元人民币，由海南双成投资有限公司投资建设，将与绍兴滨海新区管委会在高端MEMS和电源管理芯片设计、半导体产业基金合作、物联网IP平台打造及技术产业化等方面开展合作，共同打造创新型“设计产业平台”，将有力推动集成电路产业集聚和高质量发展。
中芯集成电路制造（绍兴）——8吋MEMS生产线日，中芯绍兴项目举行签约仪式，项目首期投资58.8亿元人民币。2018年5月18日，中芯绍兴8吋厂房项目举行奠基仪式。2019年11月，绍兴的生产线年在绍兴举办的集成电路产业峰会上，中芯介绍称，绍兴的产能达到每月4万片。中芯国际的MEMS方案主要集中在MEMS麦克风、加速度计、陀螺仪、压力、显微镜、超声波传感器、射频器件。
2020年7月28日，深迪半导体的MEMS传感器项目在浙江绍兴举行签约仪式，拟落户绍兴柯桥经济技术开发区。
该项目投资方为深迪半导体（上海）有限公司，项目计划将公司总部迁至柯桥，并建立自主商用6轴MEMS惯性测量单元（IMU）、商用3轴磁力计测试和模组测试产线轴MEMS IMU封测产线。深迪半导体是中国首家研发设计商用消费级和汽车级MEMS陀螺仪系列惯性传感器的公司。公司拥有顶尖的MEMS设计团队，先进的MEMS工艺和集成技术，基于核心的MEMS陀螺仪产品进行拓展和开发。
总投资近4亿元的美新半导体年产6亿颗MEMS磁传感器生产线及加速度传感器工艺开发实验线万元，已正式开工建设。该项目计划于今年年底完成厂房等设施建设。明年一季度采购安装设备，二季度便完成产线贯通和中试，正式开始量产。达产后，可实现年产MEMS磁传感器芯片6亿颗以及加速度传感器1.2亿颗。
6月28日，总投资80亿元的长电绍兴300mm集成电路中道先进封装生产线项目一期主体工程正式结顶。据悉，2020年6月3日，长电集成电路（绍兴）有限公司300mm集成电路中道先进封装生产线项目一期厂房正式建设。该项目总用地面积380亩，总投资额为80亿元，其中一期用地230 亩，达产后将具备年封装300mm芯片48万片的能力。
2019年9月，豪威科技项目（豪威晶圆测试及晶圆重构生产基地及硅基液晶投影显示芯片扩产项目）计划总投资16亿元，用地73亩，拟分2期开发，一期投资8亿元，为晶圆测试及晶圆重构生产基地项目；二期投资8亿元，为硅基液晶投影显示芯片扩产项目。
已出台集成电路产业、人才专项政策双十一条，在设计研发、新品流片、掩模板制作、IP采购、专利申请与授权、参展宣传、人才引进等方面给予补贴支持，对于企业实现销售突破、产值大幅增长、建立本地产业链合作等方面给予奖励，截至目前政策兑现超亿元。
去年4月，温州市出台《物联网产业创新发展三年行动方案（2020-2022年）》，通过关键技术的突破和重点产业的壮大，到2022年，形成较为完善的物联网产业体系。根据行动方案，温州市将打造以乐清为核心
温州乐清，中国电器之都、电子元器件基地。乐清在温台地区率先创建了千亿级电气产业集群，更为物联网传感器技术提供了良好的发展土壤。近年来，乐清市已形成以正泰、金卡智能、力夫自控等一批物联网传感器为龙头的骨干企业梯队，并着力打造正泰物联网传感器产业园、浙江云谷—磐石云数据中心等一批与物联网传感技术密切相关的产业平台。
位于乐清市柳市镇柳白新城核心区，总规划用地面积382亩，总建筑面积45万平方米，是正泰集团打造全球领先的智慧能源解决方案提供商战略下的重大产业项目，项目总投资约31亿元，致力于打造以物联网传感技术为核心并带动多种智能科技研发的科技创新园，推动乐清电气产业转型升级。截至目前，该园区内已有浙江正泰智能制造装备、浙江勃嘉工业自动化等多个企业入驻。
是乐清市政府和浙江大学机械工程学院联合共建的民办非企业单位，研究院整合浙江大学资源，组织学校教授团队，汇集先进科研成果，吸引社会资本，到乐清开展智能技术研发及产业化活动。
位于柳市镇，总占地10亩，建筑面积约1.58万平方米。该综合体由浙江云谷数据有限公司负责运营，于2018年6月份开始装修，2019年5月投入使用。综合体聚焦物联网传感器产业，汇聚各类创新资源和服务机构，为产业提供关键共性技术研发、技术人员培训、创新团队孵化、科技成果转换、高层次人才引进等服务。
近年来，嘉兴市以加快推动集成电路产业发展、全面提升产业规模、培育经济增长新动能为目标，围绕“核心企业—关键领域—重点产品”，加快形成“双核多点”布局，培育引进集成电路龙头企业，壮大集成电路配套产业。如今，嘉兴市微电子产业链趋向齐全，众多科研平台落地和重大项目纷纷落地。
是在中国科学院与浙江省政府“院省合作”协议框架下，由中科院上海微系统与信息技术研究所与嘉兴市政府联合共建的独立法人事业单位。中心的目标是面向政府信息化、能源、交通、环境监测、公共安全等应用领域，开展传感网的应用研究；发展集成化、智能化传感器系统及检测装置；与微系统所结合，突破传感网相关的应用关键技术（主要是网络协议、融合算法及应用软件系统）；形成具有自主知识产权的国际化传感网络系列标准体系。
由德国汉希科特应用研究院和平湖经开合资成立，从事应用于工业、消费、汽车和医疗领域的微系统传感器产品的研发和制造。将德国微系统研究院模式在中国市场和研究院环境下进行衍生推广，将制造技术在中国市场驱动下实现国产化。
依托上海交大平湖智能光电研究院运营，一期创立于平湖市科创中心，以行业细分成传感器、时频、半导体和特种光纤四个分中心，协同开展研发生产。近一年来，创新中心深入链接上海交大资源，累计实现8个项目的成果转化和产业化落地，总产值近3亿元。
2018年12月30日，浙江嘉兴中新嘉善现代产业园项目正式签约落地。据悉，该产业园计划投资约200亿元，位于嘉善北部，总规划面积16.5平方公里，将重点聚焦于以智能传感产业为主导的战略性新兴产业。通过引进一批智能传感器龙头企业，带动智能传感产业集聚集群发展，建设具有国际影响力、竞争力的“智能传感谷”。
该平台已被纳入第二批浙江省“万亩千亿”新产业平台培育名单。截至2020年12月，嘉兴南湖微电子产业平台已成功引进微电子产业总投资百亿项目1个，总投资超10亿元项目6个，集聚微电子产业链企业约112家，标志性龙头企业35家。
芯动科技6英寸MEMS传感器生产线 英寸 MEMS 生产线已经投产，工艺能力涵盖 MEMS 芯片生产全过程，可生产压力、加速度计、陀螺仪，光镜和生物医学等 MEMS 传感器芯片产品，生产能力可达年产 400 万颗芯片，已经开始为客户小批量试产供货。
2016年，广泛应用于量子领域的“MEMS智能微传感器芯片”项目签约落户桐乡，成为桐乡市引进的第三个量子应用技术大项目。该项目由中科院地质与地球物理研究所于连忠等4位国家**计划专家领衔开发，产品应用于加速度仪、陀螺仪、量子网关等，是现代物联网的核心器件，是智能制造业的发动机，广泛应用于工业、医疗、军工、航天等领域。
据此前报道，格科微电子嘉善项目计划总投资25.4亿元，新建年产12亿颗CMOS图像传感器芯片，1亿颗VCM马达，6亿件摄像头模组项目。项目用地124亩，稳定达产后年产值将不低于100亿元。该项目已被纳入2018年浙江省重大产业项目之一，也是嘉善县重点工业项目之一。
2018年，总投资125亿元的新一代金属网格触控传感器研发及制造项目落地嘉兴桐乡，该新一代金属网格触控传感器研发及制造项目，在乌镇建立金属网格触控传感器、触控系统的研发、制造和销售为一体的新一代柔性屏幕产业生态链。项目将通过金属网格触控传感技术支持笔记本电脑、平板电脑和移动电话等电子终端，运用于新一代柔性屏幕。预计项目5年内年产值超百亿元。
芯越微电子材料项目注册资本1190万元，落户平湖·青田“飞地”产业园，租用厂房2200平方米，主要研发和生产显影液、光刻胶剥离液、清洗液、蚀刻液等半导体制程用的材料，是芯片行业的核心部件，填补了国内在芯片光刻领域的空白。
2019年5月，嘉善出台《关于加快智能传感器产业发展的若干政策意见》（简称政策意见），提出加大产业发展资金扶持、有效保障产业发展空间、加快培育产业发展主体、大力支持产业研发创新、逐步完善产业发展配套、优化产业发展环境六个方面。
政策意见还明确“合作设立总规模100亿元的智能传感器基金”“每年统筹安排不少于5亿元资金专项支持智能传感器产业发展”等实打实的创新举措，为通信电子产业链集聚发展聚强政策动力，提升嘉善经开区这一“国字号”开发区的承载力。在政策配套上，近几年来，嘉善连续出台科技新政15条、人才新政32条等含金量颇高的激励措施。
先后出台了《金平湖英才计划》《关于加快推进人才强企的若干政策意见》《平湖市企业家素质提升（培养）三年（2015—2017）行动计划》《平湖市人民政府关于加强“人才科技强企倍增计划”试点企业培育的若干政策意见》《平湖市重点企业人才科技倍增三年行动计划》等政策，在企业引进、培养、使用人才方面，给予全方位的鼓励和支持。
宁波是长三角南翼经济中心，“中国制造2025”全国首个试点示范城市，首批5G试点城市。形成以柯力传感为代表的高性能传感器件、新一代物联网系统、智慧水务、智能电表、智能安防设备等为主的产业结构和工业物联网产业集群。
以柔性电子这一高度交叉融合的颠覆性学科形式为核心，以柔性光电材料、可穿戴设备、电子材料和器件为攻关对象，重点面向以智能感知、新型材料、物联网、数据科学等信息技术领域，加快推进优质项目科研成果转化。目前，团队已发明发明专利300余项，获美国、新加坡和中国专利授权380余项，获批企业联合实验室2个，自主孵化企业2个。
发挥西北工业大学在微机电系统（MEMS）及纳米技术领域的学科优势，以及在微纳传感器芯片集成化设计、圆片级制造、高端化应用等领域形成的领先技术积累，面向宁波市在智慧城市、智能制造、临床诊疗、物联网等未来的战略性新兴产业发展需要，开展典型微纳传感器芯片及其应用系统关键技术研发与产业化。
中国中车传感测量技术研发中心是中国中车首个专项技术研发中心，依托宁波中车时代传感技术有限公司建设。作为中国中车首个专项技术研发中心，公司拥有国家级博士后科研工作站，聚焦基于电流、电压、压力、速度、位移、温度的传感与测量技术研究及工程化应用，推动我国轨道交通、工业自动化、新能源领域的传感测量技术创新、核心器件自主可控。公司轨道交通传感器市场占有率行业第一。
自2017年建设运营以来，产业园前三期共4.2万平方米已按规划设计完成建设并投入使用。园区以柯力公司为龙头融汇知名物联网公司和政府引导基金打造产业孵化双创平台，致力于实现产城融合，产才融合，产资融合和产产融合。目前园区已入驻企业260余家，其中工业物联网上下游企业占8成以上。2020年园区入驻企业营业收入总额超过8亿元，实现翻倍增长，吸纳就业2000余人。
是中国首个特色工艺基地，以宁波芯空间集成电路产业园为核心，下设宁波集成电路制造基地、宁波集成电路材料基地等特色项目，目标打造全国芯片重镇。据介绍，依托龙头企业，目前该平台已集聚30多个优质项目，涌现出宁波甬强科技、宁波南大光电材料、宁波锦越新材料等多家具有较强竞争力的本土企业，芯片制造、封装测试、关键材料、平台、设计、应用等全产业链正在加速成型。
柯力传感成立于1994年，是全球最大钢制传感器生产企业、国内称重元件销售量领先企业。作为行业龙头企业，柯力传感入选第五批国家制造业单项冠军示范企业，同时也是全球称重领域物联网研发与推广应用的主要引领者之一，为客户提供专业的物联网软件定制、工业智造系统研发设计、工业人工智能算法等服务。柯力传感于2019年8月上市，采取集团化管控模式，总部设在宁波。
宁波均胜电子股份有限公司（下称：均胜电子）是一家全球化的汽车零部件优秀供应商，主要致力于汽车安全系统、智能驾驶系统、新能源汽车动力管理系统和车联网核心技术等的研发与制造。均胜电子总部位处中国宁波，现有汽车安全、汽车电子和智能车联三大事业部。
今年年初，宁波市发改委等部门印发《宁波市加快重点领域新兴产业及战略性新兴产业发展专项资金管理办法》，从产业补链延链强链、企业精准培育、重点项目支持、特定载体建设等方面助力新兴产业发展，最高奖励力度达3000万元。今年7月14日，宁波市经信局发布《宁波市加快集成电路产业发展的若干政策》。
为吸引人才，去年宁波市发布了《宁波市加快集聚顶尖人才实施办法（试行）》，决定给予不同级别的人才安家补助+购房补贴。其中，新引进的顶尖人才将享受最高800万元的安家补助；另外，新引进的特优人才、领军人才、拔尖人才、高级人才分别给予100万元、80万元、50万元、15万元的安家补助。在享受安家补助基础上，自引进之日起3年内在宁波全市范围内首次购买家庭唯一住房的，再分别给予购房总额20%，最高60万元、40万元、25万元、20万元的购房补贴。
感知芯视界编辑部在查询资料获悉，浙江省没有专门针对智能传感器发展出台相应的发展计划或是方案，但在《浙江省促进新一代人工智能发展行动计划（2019-2022年）》、《关于加快集成电路产业发展的实施意见》、《浙江省全球先进制造业基地建设“十四五”规划》等官方文件中，均有发展和推动智能传感器相关内容。
近年来，浙江省从经济开发区、高新技术产业园区，到产业集聚区，到近年来如火如荼的特色小镇和顶配版“万亩千亿”新产业平台，均有发展智能传感器产业的火热场景。浙江已形成良好产业生态，在上中下游集聚了一批以智能传感器为主导产业的高新技术企业。比如千石科技（材料）、浙江晶胜机电（设备）、海康威视（研发设计）、士兰微（IDM）、中芯集成电路制造（绍兴）（制造）、长电科技（封装）等。综合来说，浙江企业无论是数量还是质量，都位于全国第一方阵。
据新华社去年11月9日消息，通过搭建人才成长成材的广阔舞台、营造良好的创新创业环境，截至2020年11月，浙江省人才资源总量已接近1400万人。截至目前有128家博士创新站，覆盖5个设区市13个县区，开展项目合作174项。
2008年，以企事业单位和院士专家团队为主体，浙江省正式启动院士专家工作站建设。截至2018年11月，全省共建市级以上工作站869家，其中省级站201家；签约建站院士457名，其中省外院士428名，海外院士机构院士58名；累计引进5200多人次院士专家进站工作，院士专家工作站及签约院士数量位居全国各省市区第一。为深入推进人才强省战略，2016年7月，浙江出台《关于深化人才发展体制机制改革 支持人才创业创新的意见》，即著名的“人才新政25条”。
2019年，浙江省启动“鲲鹏行动”，在人才引育用等方面进行了诸多探索和改革。在支持方式上，坚持需求导向，在项目经费、奖励津贴、事业平台等方面给予个性化支持，不搞“一刀切”，省财政给予最高1亿元项目经费，给予顶尖人才最高500万元的省科学技术奖励。在服务管理上，对人才充分信任、充分放权，赋予顶尖人才充分的人财物支配权、技术路线决定权，让人才心无旁骛，安心“坐冷板凳”“啃硬骨头”。